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第六讲 以设备制造商的视角探讨石墨烯和其它二维材料

日期: 2017-09-24
撰稿人:

以设备制造商的视角探讨石墨烯和其它二维材料

一、讲座详情

演讲题目:以设备制造商的视角探讨石墨烯和其它二维材料

演讲时间:2017年3月27日(星期一)上午10:30

演讲地点:清华大学信息科学技术大楼(FIT楼)二层多功能厅

主讲人:Alex Yoon 博士  泛林集团高级技术总监

二、  主讲人介绍

Alex Yoon博士,泛林集团高级技术总监,负责长期研究和技术开发工作并带领团队在斜角清洁、无电沉积等领域做了很多研发项目。2004年加入公司前,Alex Yoon博士曾任美国应用材料(Applied Materials)公司的技术经理,负责研究金属化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)技术,包括硅化钨、钨的CVD技术以及钨的ALD技术。他曾在PMT、Trikon公司担任过众多技术职务。Yoon博士拥有加州大学伯克利分校的化学工程博士和硕士学位,以及加州大学洛杉矶分校的化学工程学士学位。Lam Research Corporation 是世界知名半导体生产设备制造商,主要从事半导体生产设备、开发、制造、销售及售后服务。

三、  演讲内容

现如今半导体器件面临着高性能、低加工温度、低能耗、高薄膜覆盖率等严苛要求,而随着石墨烯的发现和相关研究的日益深入,二维材料逐渐成为新一代半导体器件材料的有力竞争者。目前二维材料的研究主要集中在石墨烯和过渡金属硫化物中,但石墨烯存在着零带隙、高加工温度、高接触电阻等问题,同时缺乏可靠的硅片级掺杂技术,这些挑战都限制了石墨烯在工业上的大规模应用。其他二维材料虽然有带隙,但同样存在着高加工温度、高接触电阻等问题,同时现有的机械剥离或化学合成法均难以与集成电路工艺兼容。二维材料距离真正的大规模应用还有很长的路要走。

目前设备制造商们正不断研发新工艺、新技术以应对上述挑战,在本次讲座中Alex Yoon博士将介绍目前基于二维材料的半导体器件主要面临的挑战和工业界目前的技术进展,同时将会对二维材料的发展前景进行展望。

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