以MEMS为代表的微系统技术汇集了诸多尖端科学技术，本身就是现代科学技术创新思维的集成结果。微系统方向的人才引进与队伍建设将深化实施学科交叉融合的团队建设策略，打造多元化的MEMS微系统人才团队。在此基础上，围绕智能微系统的核心，把集传感、处理、通讯、能源等多种功能于一身的单一集成芯片作为重点科研方向，着力解决跨尺度、多能域系统级数学建模方法，复杂MEMS芯片的一体化正向设计理论及方法，以及高密度异质集成等MEMS的关键集成方法等一系列关键科学问题。
预期重要成果包括：
1） 建设一支具有国际影响力的MEMS科研团队；
2） 取得一批高水平的原创性科研成果；
3） 研制一批国家亟需的MEMS芯片；
4） 形成国际MEMS微系统领域的学术制高点。